غرفة شفط مسطحة
يمثل غرفة تفريغ مسطحة حلاً هندسياً معقداً مصمماً للحفاظ على بيئات خاضعة للرقابة لتطبيقات صناعية وعلمية مختلفة. يحتوي هذا الغرفة المتخصصة على تصميم مسطح مميز يزيد من كفاءة استخدام المساحة بينما يقدم وصولاً مثالياً للمعدات والمواد. عادة ما يتضمن بناء الغرفة فولاذًا مقاومًا للصدأ أو الألمنيوم من الدرجة العالية، مما يضمن متانة ومقاومة للتآكل. تتضمن الغرفة منافذ ومداخل متعددة موزعة استراتيجياً لاستيعاب مجموعة متنوعة من الأدوات، المستشعرات، ومضخات التفريغ. يمكّن التصميم المسطح لهذه الغرفة توزيع الحرارة بشكل أفضل والحفاظ على ضغط موحد عبر كامل مساحتها. تحتوي آليات إغلاق متقدمة، بما في ذلك الخواتم المعدنية وخواتم O-ring، لضمان سلامة التفريغ، بينما تسهم الفتحات المصممة بدقة في توفير اتصالات آمنة مع المعدات المساعدة. يتضمن النظام أجهزة مراقبة ضغط ونظم تحكم معقدة تحافظ على مستويات تفريغ دقيقة مطلوبة لتطبيقات معينة. هذه الغرف تجد استخداماً واسعاً في تصنيع الرقائق شبه الموصلة، إيداع الأفلام الرقيقة، اختبار المواد والأبحاث العلمية. يسمح التصميم بالتكامل السهل مع الأنظمة الموجودة ويمكن تعديله لتلبية متطلبات التجارب أو الإنتاج الخاصة.