معدات شفط فائق العالي
تمثل معدات الفراغ فوق العالي (UHV) ذروة تكنولوجيا الفراغ، وهي مصممة لتحقيق وإبقاء بيئات ضغط منخفض للغاية، عادةً أقل من 10−9 ميلي بار. يتكون هذا النظام المعقد من عدة مكونات متكاملة، بما في ذلك مضخات متخصصة، وغرف فراغ، وأدوات قياس تعمل بشكل توافقي لإنشاء ظروف فراغ تقريبية مثالية. يستخدم النظام مواد متقدمة وهندسة دقيقة لتقليل انبعاث الغازات وضمان الأداء الأمثل. عادةً ما يحتوي النظام على عدة مراحل من الضخ، تبدأ بمضخات الفراغ الخشنة وتتقدم إلى مضخات التوربوجزيئية ومضخات الأيونات للوصول إلى مستويات الفراغ النهائية. توفر أنظمة المراقبة المتقدمة قراءات ضغط في الوقت الفعلي وتحديثات حول حالة النظام، بينما تحافظ الآليات التحكم sophistical على استقرار ظروف الفراغ. تحتوي المعدات على أسطح معالجة خصيصًا وبناء من الفولاذ المقاوم للصدأ من الدرجة العالية لتقليل التلوث وضمان الموثوقية على المدى الطويل. هذه الأنظمة ضرورية في العديد من التطبيقات التقنية العالية، من تصنيع الرقائق إلى البحث العلمي المتقدم، حيث تكون البيئات فوق النظيفة حيوية. يركز تصميم المعدات على كل من الأداء وسلامة المستخدم، حيث يشمل عدة آليات الأمان والبروتوكولات لوقف الطوارئ.