Backfähige Konstruktion für ultrareine Anwendungen
Das Ultra-Hochvakuum-Schieberventil zeichnet sich durch eine vollmetallische Konstruktion mit sorgfältig ausgewählten Materialien aus, die erhöhte Temperaturen aushalten, die für eine gründliche Conditioning des Vakuumsystems erforderlich sind. Diese backfähige Konstruktion ermöglicht es, den Ventilkörper, die internen Komponenten und die Dichtelemente typischerweise bis auf 200 Grad Celsius zu erhitzen, wodurch adsorbierte Wasserdampf-, Kohlenwasserstoff- und andere Verunreinigungen entfernt werden, die andernfalls die erreichbaren Vakuumniveaus begrenzen würden. Der Backprozess reduziert die Ausgasungsrate signifikant und ermöglicht es Ihrem System, niedrigere Grunddrücke schneller zu erreichen sowie während des Betriebs sauberere Vakuumbedingungen aufrechtzuerhalten. Alle benetzten Oberflächen bestehen aus vakuumkompatiblen Materialien wie Edelstahl 304 oder 316 mit elektropolierter Oberfläche, um die Oberfläche zu minimieren und die Partikelbildung zu verringern. Bei den internen Komponenten werden Elastomere und Kunststoffe in kritischen Bereichen vermieden; stattdessen kommen hochtemperaturbeständige Materialien zum Einsatz, die ihre Maßhaltigkeit und mechanischen Eigenschaften über mehrere thermische Zyklen hinweg bewahren. Dieser Konstruktionsansatz macht das Ultra-Hochvakuum-Schieberventil unverzichtbar für Anwendungen in der Halbleiterverarbeitung, bei denen Spurenverunreinigungen die Ausbeute beeinträchtigen, sowie in der Oberflächenforschung, wo ultra-reine Bedingungen für genaue Messungen zwingend erforderlich sind. Die Möglichkeit, die gesamte Ventilbaugruppe vor Ort (in situ) zu backen, eliminiert die Notwendigkeit, das Ventil während der Systemconditioning zu entfernen, vereinfacht damit die Verfahren und reduziert potenzielle Kontaminationen durch Handhabung und Wiedereinbau.
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