カスタム真空フランジ
カスタム真空フランジは、低圧環境で動作する真空システムにおいて、漏れのないシールを実現するために高精度に設計・製造された接続部品です。これらの特殊なフランジは、真空チャンバーの各種構成部品、バルブ、ポンプ、計測機器間における重要なインターフェースとして機能し、システムの完全性と最適な性能を確保します。標準フランジとは異なり、カスタム真空フランジは、特定の寸法要件、材質仕様、および個別のアプリケーションニーズに応じて厳密に調整された性能基準を満たすよう製造されます。また、Oリング、ガスケット、または金属シールに対応するよう精密に機械加工されたシーリング面を備えており、超高真空条件を維持します。カスタム真空フランジの技術的特長には、厳密な公差管理、マイクロインチ単位で測定される表面粗さ仕様、およびConFlat、ISO-KF、ISO-Kなどの各種シーリング方式への互換性が含まれます。CNC機械加工、電解研磨、特殊熱処理といった高度な製造技術により、寸法精度および表面品質が保証されます。材質選択肢は、304Lおよび316Lなどのステンレス鋼から、チタン、アルミニウム、インコネルなどの特殊合金まで幅広く、化学的適合性、耐熱性、磁気特性に基づいて選定されます。カスタム真空フランジは、半導体製造、分析計測機器、粒子加速器、宇宙環境模擬チャンバー、研究用ラボラトリー、産業用コーティング装置など、多岐にわたる分野で応用されています。ポート配置、取付パターン、観察窓(ビューポート)やフィードスルーなどの統合機能へのカスタマイズが可能であるため、標準部品では対応できない厳格なシステム要件を満たす専門的な真空技術アプリケーションにおいて、カスタム真空フランジは不可欠な存在です。