CF 시리즈 구성품

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• 진공 벨로우스

  • 엣지 용접 벨로우스
  • 수압 성형 벨로우스

• 진공 펌프

  • 단일 단계 진공 펌프
  • 이단 진공 펌프
  • 루츠 진공 펌프
  • 스크롤 드라이 진공 펌프
  • 터보 분자 펌프

• 진공 피드스루

  • 전력 전기 피드스루
  • 열전쌍 피드스루
  • 멀티 핀 피드스루