تجهيزات شفط فراغية
تمثل وصلات التفريغ من نوع CF تكنولوجياً مكونةً بالغة الأهمية في أنظمة التفريغ العالي والتفريغ الفائق العالية، وهي مُصمَّمة لإنشاء وصلات موثوقة وخالية تمامًا من التسريبات بين مكوِّنات غرفة التفريغ. وتستخدم هذه الوصلات المتخصصة تصميم الشبكة المسطحة المُحكَمة (ConFlat أو CF)، الذي أصبح المعيار الصناعي للتطبيقات التي تتطلب مستويات تفريغ أقل من ١٠⁻⁹ تور. وتتمثل الوظيفة الرئيسية لوصلات التفريغ من نوع CF في إنشاء ختم آمن وقابل للفك، يحافظ على سلامة التفريغ مع السماح بتجميع النظام وتعديله وصيانته. ويتركَّز الأساس التكنولوجي لوصلات التفريغ من نوع CF في آلية الختم ذات الحافة الحادة، حيث يتم ضغط طوق نحاسي بين شبكَتين من الفولاذ المقاوم للصدأ مصنوعتين بدقة عالية، مما يُشكِّل ختمًا معدنيًّا–معدنيًّا يمكن تسخينه (Bakeable) ويتوافق تمامًا مع ظروف التفريغ الفائق العالية. وتتوفر وصلات التفريغ من نوع CF بأحجام قياسية تتراوح بين المنافذ الصغيرة بقطر ١,٣٣ بوصة والفتحات الكبيرة بقطر ١٦ بوصة، لتلبية متطلبات الاتصال المتنوعة. وتُستخدَم هذه الوصلات على نطاق واسع في مرافق الأبحاث العلمية ومعدات تصنيع أشباه الموصلات ومعجِّلات الجسيمات وأجهزة محاكاة الفضاء وأجهزة التحليل الدقيق وأنظمة ترسيب الطبقات الرقيقة. ويضمن التصنيع المتين لوصلات التفريغ من نوع CF توافقها مع الظروف التشغيلية القاسية، ومنها إجراءات التسخين العالية الحرارة حتى ٤٥٠ درجة مئوية، والبيئات التآكلية أثناء العمليات، ودرجات الحرارة الكريوجينية. وتخضع كل وصلة لمواصفات دقيقة جدًّا فيما يتعلَّق بالتسامح البُعدي ونهاية السطح، لضمان أداء ختمٍ متسقٍ وقابلية التبديل بين المنتجات المصنَّعة من قِبل مختلف الشركات المصنِّعة، ما يجعل وصلات التفريغ من نوع CF حلاً لا غنى عنه في تطبيقات تكنولوجيا التفريغ المُعقَّدة.