cF真空継手
CF真空継手は、高真空および超高真空システムにおいて極めて重要な構成部品技術であり、真空チャンバー部品間で信頼性が高く、漏れのない接続を確立するために設計されています。これらの特殊な継手は、10⁻⁹ Torr以下の真空度を要求する用途において業界標準となっているConFlat(CF)フランジ構造を採用しています。CF真空継手の主な機能は、真空の完全性を維持しつつ、システムの組立、改造および保守作業を可能にする、確実かつ着脱可能なシールを構築することです。CF真空継手の技術的基盤は、精密に機械加工されたステンレス鋼製フランジ同士で銅製ガスケットを圧縮する「ナイフエッジ」シール機構にあり、これにより耐熱処理(ベイクアウト)可能かつ超高真空対応の金属対金属シールが形成されます。直径1.33インチの小型ポートから直径16インチの大型開口部まで、標準化されたサイズ展開により、多様な接続要件に対応可能です。CF真空継手は、科学研究施設、半導体製造装置、粒子加速器、宇宙環境シミュレーションチャンバー、分析計測機器、薄膜堆積装置など、幅広い分野で広く使用されています。CF真空継手の堅牢な構造により、最大450℃までの高温ベイクアウト処理、腐食性プロセス環境、低温(クライオジェニック)環境といった過酷な運用条件にも対応できます。各継手は厳格な寸法公差および表面粗さ仕様を遵守しており、メーカー間での一貫したシール性能および相互交換性を保証するため、厳しい要件が求められる真空技術アプリケーションにおいて不可欠なソリューションとなっています。