フランジ CF
フランジCFは、真空システムおよび高性能シール用途における重要な部品であり、パイプ、バルブ、機器間で信頼性が高く、漏れのない接続を確立するように設計されています。この特殊なフランジは、ConFlat(CF)規格に準拠しており、超高度真空の気密性を保証する銅製ガスケットによるシール機構を採用しています。フランジCFは、軟質の銅製ガスケットに食い込む「ナイフエッジ」形状のシール面を備えており、金属対金属のシールを形成し、最大10^-13 mbarまでの極限真空レベルを維持することが可能です。フランジCFの主な機能には、真空チャンバー内での確実な接続の確立、真空システムの容易な組立および分解の促進、および過酷な環境下における卓越した漏れ防止性能の提供が含まれます。技術的特長としては、高精度に機械加工されたナイフエッジ(通常は耐食性を確保するためステンレス鋼304または316Lで製造)、および異なるメーカー間での互換性を保証する標準化されたボルト穴配置が挙げられます。フランジCFの設計では、特定の角度および寸法を持つ突起状のシール面を採用し、銅製ガスケットを均一に圧縮することで、仮想的な漏れ(バーチャルリーク)を排除し、一貫した性能を確保しています。応用分野は、半導体製造、粒子加速器、質量分析装置、研究用ラボラトリー、航空宇宙試験施設、および超高真空条件が不可欠な分析計測機器など多岐にわたります。フランジCFは、その実績ある信頼性、適切なガスケット交換後の再利用可能性、および複数回の熱サイクルや機械的応力条件下でもシールの完全性を維持できる能力から、高真空用途における業界標準となっています。