cf銅ガスケット
cf銅製ガスケットは、特にConFlat(CF)フランジ接続において高真空および超高真空システム向けに設計された専用シール部品です。この高精度で設計・製造されたガスケットは、無酸素高導電性銅(OFHC銅)から構成されており、極限条件下でも優れたシール性能を確保します。cf銅製ガスケットは、フランジの鋭利なエッジが柔らかい銅材に食い込む「ナイフエッジシール機構」により機能し、金属対金属のシールを形成することで、最大で10^-12 mbar·l/sという極めて低い漏れ率を実現します。その主な機能は、従来のエラストマー系シールでは耐えられないような厳しい真空環境において、信頼性が高く、完全に気密なシールを提供することです。cf銅製ガスケットの技術的特長には、優れた変形性を有する退火処理済み銅材の採用があり、これにより対向フランジ間での確実な seating(密着)が保証されます。また、ガスケットの滑らかな表面仕上げと厳密な寸法公差により、複数回の取り付け・再使用においても一貫したシール性能が維持されます。cf銅製ガスケットの応用分野は、半導体製造、粒子加速器、質量分析装置、表面分析機器、研究用実験室など多岐にわたります。これらのガスケットは、薄膜堆積チャンバー、電子顕微鏡、シンクロトロン光ビームラインなど、超清浄真空環境を必要とするシステムにおいて不可欠です。cf銅製ガスケットは広範囲の温度条件下でもその性能を維持し、超高真空達成のために行われるベーキング処理とも完全に互換性があるため、先端的な科学・産業用途において不可欠な部品です。