cf f フランジ
CF Fフランジは、超高真空(UHV)システムにおける高性能シール用途向けに設計された重要な真空部品です。この特殊なフランジは、コンフラット(ConFlat:CF)規格に準拠しており、科学的研究、半導体製造、分析計測機器などにおいて信頼性が高く、漏れのない接続を実現するためのナイフエッジ式シール機構を備えています。CF Fフランジでは、2つのナイフエッジ間に銅製ガスケットを圧縮することで、極めて優れた真空密閉性を達成し、最低10^-13 mbarまでの真空度を維持できます。フランジの構造は高精度に機械加工されたステンレス鋼(通常はSUS304またはSUS316L)で構成されており、優れた耐腐食性と耐久性を確保しています。CF Fフランジという名称は、コンフラット(CF)ファミリー内における特定の寸法規格を示しており、さまざまな真空システム部品間での相互交換性および互換性を保証します。ボルト穴配置および全体寸法は国際的に認められた規格に従って設計されており、真空ポンプ、チャンバー、真空計その他の真空ハードウェアとのシームレスな統合を可能にします。CF Fフランジの技術的特長には、均一な応力分布を実現する対称設計、感度の高い用途に適した非磁性、および脱気低減のための熱処理(最高450℃でのベーキング)に対応したベーキング可能構造が含まれます。応用分野には、粒子加速器、質量分析装置、表面科学装置、薄膜堆積チャンバー、電子顕微鏡装置などがあり、これらの分野では、汚染のない環境および絶対的な真空密閉性が、正常な運用にとって極めて重要です。