cff フランジ
CFFフランジは、制御された環境における高性能シール用途に設計された特殊な真空接続部品です。ConFlat Flangeの略称であるCFFフランジは、ナイフエッジ式シール機構を採用しており、科学的研究、半導体製造および分析計測機器などにおいて不可欠な超高真空接続を実現します。このタイプのフランジでは、対向するナイフエッジ間に精密に加工された銅製ガスケットを圧縮することで、10^-13 mbarまでの真空度を維持可能な完全密閉シールが形成されます。CFFフランジはステンレス鋼製で、標準化されたボルト配置を備えており、複数のシステム構成間での互換性を確保しています。その技術的革新点は、ボルト締結時に銅製ガスケットが塑性変形し、金属同士の冷間溶接(Cold Welding)によるシールを形成する点にあります。これにより、エラストマー製シールに見られる仮想リークや脱気問題を排除します。主な機能には、真空チャンバーへの漏れのない接続の提供、部品の交換性の確保、および極低温からベークアウト条件に至るまで急激な温度変化下でもシステムの整合性を維持することが含まれます。CFFフランジは、粒子加速器、質量分析計、分子線エピタキシー(MBE)装置、表面分析装置など、汚染制御が極めて重要な分野において、特に重要な役割を果たします。寸法規格はISOおよびANSI仕様により規定されており、世界規模での互換性を保証するとともに、微小な研究用ポートから大型産業用チャンバー開口部まで、幅広いサイズ展開を実現しています。このため、信頼性と再現性の高いシール性能が求められる厳しい真空技術応用分野において、CFFフランジは最も好まれる選択肢となっています。