cFF 플랜지
CFF 플랜지는 제어된 환경에서 고성능 밀봉 응용 분야를 위해 설계된 전문 진공 연결 부품이다. 'ConFlat Flange'의 약자인 CFF 플랜지는 과학 연구, 반도체 제조 및 분석 계측기기 등에서 초고진공 연결을 실현하기 위한 나이프 엣지 밀봉 메커니즘을 채택한다. 이 플랜지 유형은 정밀 가공된 구리 개스킷을 상대적인 나이프 엣지 사이에 압축시켜 10^-13 mbar 수준까지 진공을 유지할 수 있는 기밀 밀봉을 형성한다. CFF 플랜지는 표준화된 볼트 배치를 갖춘 스테인리스강 재질로 제작되어 다양한 시스템 구성 간 호환성을 보장한다. 그 기술적 혁신은 볼트 압축 하에서 구리 개스킷이 소성 변형되며 금속 대 금속 밀봉을 형성하는 냉간 용접 원리에 기반하며, 이는 엘라스토머 개스킷에서 흔히 발생하는 가상 누출(virtual leak) 및 탈기(outgassing) 문제를 해소한다. 주요 기능으로는 진공 챔버에 대한 누출 방지 연결 제공, 구성 요소의 교환 가능성 확보, 극저온에서 베이크아웃(bake-out) 조건에 이르기까지 극단적인 온도 변화 하에서도 시스템 무결성 유지 등이 있다. CFF 플랜지는 입자 가속기, 질량분석기, 분자빔 에피택시(MBE) 시스템, 표면 분석 장비 등 오염 관리가 최우선적으로 요구되는 분야에서 핵심적인 역할을 수행한다. 치수 규격은 ISO 및 ANSI 사양에 의해 규정되어 글로벌 호환성을 보장하며, 미니어처 연구용 포트부터 대규모 산업용 챔버 개구부에 이르기까지 다양한 크기를 제공함으로써 신뢰성과 반복성이 요구되는 엄격한 진공 기술 응용 분야에서 선호되는 선택지가 된다.