플랜지 CF
플랜지 CF는 진공 시스템 및 고성능 밀봉 응용 분야에서 파이프, 밸브, 장비 간에 신뢰할 수 있고 누출 방지가 보장되는 연결을 구현하기 위해 설계된 핵심 구성 요소이다. 이 특수 플랜지는 콘플랫(ConFlat, CF) 표준을 따르며, 초고진공(UHV) 상태에서의 밀봉 무결성을 보장하는 구리 개스킷 밀봉 메커니즘을 채택한다. 플랜지 CF는 부드러운 구리 개스킷에 침투하는 나이프 엣지(knife-edge) 밀봉면을 사용하여 금속 대 금속 접촉 밀봉을 형성함으로써 최대 10^-13 mbar 수준의 진공도를 유지할 수 있다. 플랜지 CF의 주요 기능은 진공 챔버 내에서 안정적인 연결을 확립하고, 진공 시스템의 조립 및 해체를 용이하게 하며, 엄격한 환경에서도 뛰어난 누출 방지 성능을 제공하는 것이다. 기술적 특징으로는 정밀 가공된 나이프 엣지가 있으며, 일반적으로 부식 저항성을 위해 스테인리스강 304 또는 316L로 제조되며, 다양한 제조사 간 호환성을 보장하는 표준화된 볼트 구멍 배열이 포함된다. 플랜지 CF 설계는 특정 각도와 치수를 갖춘 돌출형 밀봉면을 채택하여 구리 개스킷을 균일하게 압축함으로써 가상 누출(virtual leak)을 제거하고 일관된 성능을 보장한다. 적용 분야는 반도체 제조, 입자 가속기, 질량 분석 장비, 연구 실험실, 항공우주 시험 시설, 분석 계측기기 등 초고진공 조건이 필수적인 분야에 이른다. 플랜지 CF는 검증된 신뢰성, 적절한 개스킷 교체 후 재사용 가능성, 그리고 여러 차례의 열 순환 및 기계적 응력 조건에서도 밀봉 무결성을 유지하는 능력 덕분에 고진공 응용 분야의 산업 표준으로 자리 잡았다.