iSO真空フランジ
ISO真空フランジは、高真空および超高真空システム向けに設計された重要なシール部品であり、真空チャンバー、ポンプ、バルブ、計測機器間の信頼性の高い接続を提供します。この標準化されたフランジシステムはISO規格に準拠しており、異なるメーカーおよび真空装置間での汎用互換性を保証します。ISO真空フランジは、センターリングとエラストマー製Oリングを用いた金属対金属のシール機構を採用し、大気圧から超高真空レベルまで維持可能な完全な気密シールを実現します。その主な機能には、真空環境下における確実な接続の確立、モジュラー式システム構成の実現、および保守作業のための容易な組み立て・分解が含まれます。ISO真空フランジの技術的特長には、高精度機械加工によるシール面、腐食耐性を確保するためのステンレス鋼製構造、および小型ポートから大型チャンバーオープニングまで幅広いサイズ展開が挙げられます。また、国際規格に準拠したボルト穴配置を採用しており、グローバルな真空システム統合において最も好まれる選択肢となっています。応用分野は、不純物の混入が許されない半導体製造、信頼性の高い真空条件が不可欠な科学研究施設、質量分析計や電子顕微鏡などの分析計測機器、薄膜堆積装置、および冷凍乾燥や真空冶金を含む産業プロセスなど多岐にわたります。ISO真空フランジは、実績ある信頼性、操作の容易さ、および世界規模での広範な採用により業界標準となり、研究室、生産設備、研究機関などにおいて真空技術を扱う専門家にとって不可欠な部品となっています。