iSO Fフランジ
ISO-Fフランジは、高真空および超高真空システムにおいて信頼性が高く、漏れのない接続を実現するための標準化された真空部品です。この特殊なフランジは国際的なISO規格に準拠しており、世界中の異なるメーカーおよび真空装置との互換性を保証します。ISO-Fフランジは、Vitonやブチルゴムなどの材料で作られたエラストマー製Oリングシールを位置決めするためのセンターングリングを備えた特徴的な平面シール面を有しています。その主な機能は、厳しい産業および科学的応用において、迅速かつ再現性の高い接続を提供しつつ、真空の完全性を維持することです。ISO-Fフランジの技術的設計には、適切な位置合わせとシール性能を保証するための高精度機械加工された表面が採用されています。フランジは、シール周囲に均一な圧力を加える単爪または二爪式クランプ機構を採用し、大気圧に対する効果的なバリアを形成します。一般的なサイズは、直径16mmの小型ポートから600mmを超える大型開口まで幅広くあります。ISO-Fフランジは、半導体製造、分析計測器、研究用ラボラトリー、粒子加速器、産業用コーティングシステムなど、多様な分野で広く使用されています。その堅牢な構造により、大気圧から10^-9 mbarという超高真空レベルまでの圧力範囲に対応可能です。ISO-Fフランジシステムのモジュラー性により、エンジニアは複雑な真空チャンバーおよびトランスファーシステムを効率的に構成できます。製造には通常、優れた耐食性および過酷な運用環境における耐久性を確保するため、ステンレス鋼304または316Lが用いられます。