真空チャンバ貫通部材
真空チャンバー用貫通部は、真空システムにおいて重要な部品であり、電力、信号、流体、運動などのさまざまなユーティリティを大気環境と真空チャンバー内部の間で安全に伝送します。これらの専用デバイスは、真空の完全性を維持しながら、チャンバーウォールを通じて必要な接続を可能にします。現代の真空チャンバー貫通部には、金属対金属シール、エラストマーシール、またはセラミック対金属結合など、先進的なシーリング技術が組み込まれており、多様な動作条件下でも信頼性の高い性能を発揮します。これらは高電圧、無線周波数、熱管理、光学伝送などの特定の要件に対応するように設計されています。設計は、腐食に強く真空条件の下でも構造的完全性を保つステンレス鋼、銅、または専用合金などの堅牢な構造材料を特徴としています。これらの貫通部は、単一ピン式電気貫通部、マルチピンコネクタ、流体貫通部、運動貫通部など、さまざまな構成で提供され、それぞれが意図された用途に最適化されています。この技術は、半導体製造、研究ラボ、航空宇宙試験、その他のハイテク産業における精密な真空条件を維持する必要があるプロセスを可能にします。