пропускное устройство вакуумной камеры
Противень вакуумной камеры служит критическим компонентом в вакуумных системах, позволяя безопасную передачу различных утилит, таких как электропитание, сигналы, жидкости и движение между атмосферной средой и внутренней частью вакуумной камеры. Эти специализированные устройства сохраняют целостность вакуума, обеспечивая необходимые соединения через стенку камеры. Современные противни вакуумных камер используют передовые технологии уплотнений, включая металлические уплотнения, уплотнения из эластомеров или керамические соединения с металлом, что гарантирует надежную работу при различных условиях эксплуатации. Они разработаны для удовлетворения конкретных требований, таких как высокое напряжение, радиочастота, тепловое управление и оптическая передача. Конструкция обычно включает прочные материалы, такие как нержавеющая сталь, медь или специальные сплавы, которые сопротивляются коррозии и сохраняют структурную целостность при вакуумных условиях. Эти противни доступны в различных конфигурациях, включая однопинные электрические противни, многопинные соединители, противни для жидкостей и противни для движения, каждый из которых оптимизирован для своего предполагаемого применения. Данная технология позволяет осуществлять ключевые процессы в производстве полупроводников, исследовательских лабораториях, испытаниях в аэрокосмической отрасли и других высокотехнологичных отраслях, где поддержание точных вакуумных условий является важным для работы.