全製品

CF／ISO ベローズシールドステンレス鋼ゲート弁（空圧式）

ベローズシールドバルブは、アクチュエータをプロセスガスやデブリから分離します。

概要
関連製品

CF/ISO フレンズ

材質	ボディ	304S.S.
	車両	304S.S.
	ゲート	304S.S.
	ベローズ	316L または AM350
サイクル寿命	4インチ以下（含む）のサイズ	100,000
	4インチを超えるサイズ	50,000
1気圧差でのヘリウムリーク率	<5×ガスケットシール：10-10 mbar・l/sec
焼き温度	動動器	空圧≤80℃
		手動≤200℃
圧力範囲（mbar）	1×10-10~1000
最大P （mbar）	開放前の27
標準シール	ビトンOリング
動動器	空圧式または手動式
圧縮空気供給管継手圧力範囲	ø6 mm

	4~6 Kg/cm2 （過圧）
表面処理	スコッチポリッシュ仕上げ
オプション	A、位置インジケーター B、空圧制御用ソレノイドバルブ

	C、粗引きポート D、その他の材質ゲートOリングシール

CFフランジ空圧式ゲート弁のパラメーター：

モデル番号	H1	H2	ロープ	ポイント	ロープ	K1	K2	U	V	W	T	B	C	ナイフ	部品は無い
試験用品の種類	70	70	56	180	161	112	130	71	31	49	フ86	114	92.1	8*M8	31026900
試験用品の試験用品の試験用品の試験用品の試験用品の試験用品の試験用品の試験用品の試験用品の試験用品の試験用品の試験用品の試験用品の試験用品の試験用品の試験用品の試験用品の試験用品の試験用品の試験	70	70	71	249	171	141	180	71	31	49	フ86	152	130.2	16*M8	31026901
試験用品の試験用品の試験用品の試験用品の試験用品の試験用品の試験用品の試験用品の試験用品の試験用品の試験用品の試験用品の試験用品の試験用品の試験用品の試験用品の試験用品の試験用品の試験用品の試験	78	75	96	340	175	191	230	84	37.5	55.5	80*80	202	181.1	20*M8	31026902
試験用品の試験用品の試験用品の試験用品の試験用品の試験用品の試験用品の試験用品の試験用品の試験用品の試験用品の試験用品の試験用品の試験用品の試験用品の試験用品の試験用品の試験用品の試験用品の試験	85	75	125.5	430	197	254	290	104	47	65	94*94	253	231.9	24*M8	31026903
試験用品の試験用品の試験用品の試験用品の試験用品の試験用品の試験用品の試験用品の試験用品の試験用品の試験用品の試験用品の試験用品の試験用品の試験用品の試験用品の試験用品の試験用品の試験用品の試験	100	90	155	523	235	310	350	104	47	65	94*94	305	284	32*M8	31026904

ISOフランジ空圧式ゲート弁のパラメーター：

モデル番号	H1	H2	ロープ	ポイント	ロープ	K1	K2	U	V	W	T	B	C	ナイフ	部品は無い
標準化された標準化基準	70	70	56	180	161	112	130	71	31	49	フ86	130	110	4*M8	31036800
標準化された標準化基準	70	70	71	249	171	141	180	71	31	49	フ86	165	145	8*M8	31036801
標準化された標準化基準	78	75	96	340	175	191	230	84	37.5	55.5	80*80	225	200	8*M10	31036802
標準化された標準化基準	85	75	125.5	430	197	254	290	104	47	65	94*94	285	260	12*M10	31036803
標準化された標準化基準	100	90	155	523	235	310	350	104	47	65	94*94	335	310	12*M10	31036804
標準化された標準化基準	110	96	180	598	370	360	400	112	56	77	112*112	425	395	12*M12	31036805
標準化された標準化基準	150	108	233	748	397	466	506	112	56	77	112*112	510	480	16*M12	31036806
標準化された標準化基準	170	110	283	898	450	566	606	136	68	89	135*135	610	580	16*M12	31036807

CCDシリーズ — 電動超高真空ゲートバルブ
モーター駆動。高精度の位置決めが可能。自動化システムに最適。ステンレス鋼製ボディ。CFまたはISOフランジ対応。漏れ率：≤1.3×10⁻⁷ Pa·L／s（DN≤200）。最高150℃までのベーキング対応。
CCQシリーズ — 空気圧式超高真空ゲートバルブ
圧縮空気駆動。高速応答。遠隔操作可能。超薄型設計。高い導電性。半導体、PVD、CVD、ロードロック装置向け。
CCシリーズ — 手動式超高真空ゲートバルブ
シンプルで信頼性が高く、コストパフォーマンスに優れる。手動操作で十分なシステム向け。