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- 概要
- 関連製品
お客様のプロセス要件に完全に合わせた、カスタマイズ可能な真空チャンバーを設計・製造しています。産業用および実験室用の幅広い用途に対応する柔軟な構成をご提供します。
材質：SUS304ステンレス鋼、SUS316Lステンレス鋼、またはお客様指定の材質
使用温度範囲：－190℃～＋1500℃（高温作業環境向けには水冷構成も対応可能）
シール方式：一般真空用途にはフッロゴム製Oリング、超高真空および極端な温度環境には無酸素銅製金属ガスケット
出荷前のすべての工程で品質を確認し、全機器に対して工場出荷検査を必須としています。
🔹真空漏れ率試験
🔹カスタマイズ可能な表面処理：
ヘアライン加工・鏡面研磨、サンドブラスト・電解処理、酸洗い、電解研磨、鏡面仕上げなど、用途に応じた各種処理に対応可能です
PVDコーティング、半導体プロセス、熱処理、食品の冷凍乾燥、あるいは実験室での研究など、用途に応じて、設置スペース、インターフェース、性能要件に合わせたカスタム設計が可能です。
ISOボアフランジ
| モデル番号 | 部品は無い | 寸法 | ||||
| A | B | C | D | E | ||
| ISO63B63 | 31031011 | 95.00 | 70.00 | 12.00 | 90.00 | 63.70 |
| ISO80B76 | 31031012 | 110.00 | 83.00 | 12.00 | 105.00 | 76.40 |
| ISO100B102 | 31031013 | 130.00 | 102.00 | 12.00 | 125.00 | 101.80 |
| ISO160B153 | 31031014 | 180.00 | 153.00 | 12.00 | 175.00 | 152.90 |
| ISO200B204 | 31031015 | 240.00 | 213.00 | 12.00 | 235.00 | 203.70 |
| ISO250B255 | 31031016 | 290.00 | 261.00 | 12.00 | 285.00 | 254.50 |
| ISO320B305 | 31031017 | 370.00 | 318.00 | 12.00 | 365.00 | 305.30 |
| ISO400B407 | 31031018 | 450.00 | 400.00 | 12.00 | 445.00 | 406.90 |
| ISO500B509 | 31031019 | 550.00 | 501.00 | 12.00 | 545.00 | 508.80 |
