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- 概要
- 関連製品
ポリゴン形状の真空チャンバーは、各种基板に機能性や装飾用の薄膜を堆積させるための産業用コーティングシステムやスパッタリングシステムで広く使用されています。DLC（ダイヤモンドライクコーティング）、アーク蒸着、マグネトロンスパッタリングなどのシステムに不可欠であり、これらのチャンバーは多様なアプリケーション要件に対応するよう設計されています。
特定の要件に応じて、多角形の真空チャンバーは五角形、六角形、八角形など、さまざまな形状にカスタマイズできます。大学や研究開発センターでは、柔軟性、コンパクトな容量、低運転コストを兼ね備えた専用の真空チャンバーが必要となることがよくあります。YM Technologyは顧客と密接に協力し、そのユニークなニーズに合わせた最適な真空チャンバーのソリューションを設計・提供します。
共通の技術仕様 真空チャンバー :
1. 材質: 304ステンレス鋼、316Lステンレス鋼、または顧客指定の材質。
2. 動作温度範囲: -190°Cから+1500°C（高温には水冷が必要）。
3. 密封方法: フッ素ゴムの「O」リングまたは無酸素銅金属シール。
工場での試験手順:
1. 真空リーク率試験：標準リーク率：1.3×10 -11Pa・L/s。
2. 水冷圧力試験: 標準試験圧力: 11.6psi、24時間の漏れなし試験。
表面処理:
- 電解研磨
- サンドブラスト
- 酸洗浄
- ミラーポリッシュ。
真空チャンバーを注文する必要がある場合は、弊社の専門営業チームに連絡し、次の情報を提供してください:
1. 製品が使用中に発熱するかどうか、具体的な高温および低温、および水または液体窒素冷却が必要かどうか。
2. 特殊な材料要件。真空チャンバーの一般的な材料には、炭素鋼、アルミニウム、304ステンレス鋼、316ステンレス鋼があります。
3. 接続方法、真空吸引方法、および使用される真空ポンプの種類。
4. 真空度の要件と、真空後に保護ガスやその他のガスを導入する必要があるかどうか。
カスタム真空チャンバーまたはその他のYM真空チャンバーコンポーネントに関する詳細情報が必要な場合は、お気軽にご連絡ください。図面をお送りください。私たちはあなたの要件に応じてサポートいたします！
