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- Overview
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- 特徴：
- ステンレス鋼本体の表面処理：
- 4~6.5 kg/cm2 作動空気圧力
- ビトンシールボンネット : 10-9 mbar
- 真空性能 ISOフランジ ベイク可能温度150℃
- 溶接式ベローズ (316/AM350 オプション)
- 特徴：
- ステンレス鋼製本体 表面処理
- 適用範囲 (pa): 105~1.3×10-6 Pa. M3/S
- 弁の漏れ率 (Pa・L/S) ≤1.3×10-7
- 温度 -30℃~150℃
- 油圧ベローズ 0.4~0.8 動作空気圧
- 電源/電圧: AC220V/50Hz、（AC110V/DC24V/DC12V など）
- 追加信号センサーやその他の要件については、営業担当までお問い合わせください。
ISOフランジ - 空気圧駆動式（波形管付き）（円筒形エアシリンダー）
1.4インチ未満：バフ研磨
2.4インチ以上（4インチを含む）：サンドブラスト処理 2.5～3インチ（63.5～76.2mm）ポート外径
ISOフランジ - 空気圧駆動式（波形管付き）（四角形エアシリンダー）
