- 概要
- 関連製品
YM Technologyは、産業および研究用途の最高基準を満たす球形真空チャンバーを設計・製造しており、高真空(HV)および超高度真空(UHV)環境に適しています。
球形真空チャンバーは、X線光電子分光法(XPS)、オーガー電子分光法(AES)、接触角測定、原子間力顕微鏡(AFM)などの技術をサポートするさまざまな表面分析装置に一般的に統合されています。
これらのチャンバーには、実験装置への接続、真空計測ゲージ、電気およびモーションフィードスルー、分析機器アクセサリーに対応する various サイズの複数のアクセスポートが装備されています。高度な切削加工と溶接技術により、YM Technologyは8インチから20インチ以上のサイズの球形チャンバーを製造しており、すべての寸法と公差はUHV規格と顧客仕様に厳密に従って作られています。
共通の技術仕様 真空チャンバー :
1. 材質: 304ステンレス鋼、316Lステンレス鋼、または顧客指定の材質。
2. 動作温度範囲: -190°Cから+1500°C(高温には水冷が必要)。
3. 密封方法: フッ素ゴムの「O」リングまたは無酸素銅金属シール。
工場での試験手順:
1. 真空漏れ率試験: 標準漏れ率: 1.3×10⁻⁸ Pa・L/s。
2. 水冷圧力試験: 標準試験圧力: 11.6psi、24時間の漏れなし試験。
表面処理:
- 電解研磨
- サンドブラスト
- 酸洗浄
- ミラーポリッシュ。
真空チャンバーを注文する必要がある場合は、弊社の専門営業チームに連絡し、次の情報を提供してください:
1. 製品が使用中に発熱するかどうか、具体的な高温および低温、および水または液体窒素冷却が必要かどうか。
2. 特殊な材料要件。真空チャンバーの一般的な材料には、炭素鋼、アルミニウム、304ステンレス鋼、316ステンレス鋼があります。
3. 接続方法、真空吸引方法、および使用される真空ポンプの種類。
4. 真空度の要件と、真空後に保護ガスやその他のガスを導入する必要があるかどうか。
カスタム真空チャンバーまたはその他のYM真空チャンバーコンポーネントに関する詳細情報が必要な場合は、お気軽にご連絡ください。図面をお送りください。私たちはあなたの要件に応じてサポートいたします!