uHV 진공 부품
UHV 진공 부품은 10^-9 mbar 이하의 압력 수준에서 초고진공 환경을 생성하고 유지하도록 설계된 특수 정밀 공학 부품입니다. 이러한 핵심 부품은 오염이 없는 조건이 필수적인 첨단 과학 연구, 반도체 제조 및 산업 응용 분야의 기반이 됩니다. UHV 진공 부품에는 플랜지, 밸브, 챔버, 피드스루, 관측창 포트, 조작기(매니퓰레이터), 게이지 등이 포함되며, 모두 스테인리스강, 구리, 알루미늄 합금과 같은 고순도 재료로 제조됩니다. UHV 진공 부품의 주요 기능은 누출 방지 밀봉을 제공하고, 가스 흐름을 제어하며, 시료 조작을 용이하게 하고, 장기간의 작동 기간 동안 압력 안정성을 유지하는 것입니다. 기술적 특징으로는 발산가스를 최소화하기 위한 내부 표면 전해 연마 처리, 우수한 밀봉 성능을 위해 구리 개스킷을 사용하는 금속 밀봉 플랜지, 200°C 이상의 온도에서도 견딜 수 있는 베이크(bake) 가능 설계(철저한 탈기 처리를 위한), 그리고 다양한 분석 기기와의 호환성 등이 있습니다. 이러한 UHV 진공 부품은 컨플랫(ConFlat) 플랜지 시스템, 전 금속 밀봉 밸브, 정밀 가공된 표면을 채택하여 초고진공 응용 분야에 요구되는 엄격한 청결 기준을 달성합니다. 적용 분야는 표면 과학 연구, 입자 가속기, 박막 증착 시스템, 질량 분석 장비, 전자현미경, 우주 시뮬레이션 챔버, 핵융합 에너지 연구 시설 등 다양합니다. UHV 진공 부품의 뛰어난 성능 덕분에 과학자들과 엔지니어들은 극미량의 오염만으로도 실험 결과나 제품 품질에 치명적인 영향을 줄 수 있는, 완전히 깨끗한 진공 조건 하에서 실험 및 제조 공정을 수행할 수 있습니다.