진공 벨로우스
진공 벨로우스는 고진공 환경에서 신뢰성 있는 운동 전달 및 밀봉 기능을 제공하도록 설계된 유연한 액ordion 형태의 부품입니다. 이러한 특수 벨로우스는 얇은 벽면과 주름진 금속 튜브로 구성되어 진공 조건 하에서도 기밀 밀봉을 유지하면서 확장, 압축 또는 굴곡이 가능합니다. 주로 스테인리스강, 인코넬(Inconel) 또는 기타 내식성 합금으로 제조되며, 유연성과 완전한 누출 방지 성능을 동시에 요구하는 시스템에서 핵심적인 요소로 사용됩니다. 진공 벨로우스의 주요 기능은 선형 또는 각도 이동을 허용하면서 서로 다른 압력 영역을 격리하는 것으로, 반도체 제조, 분석 장비, 연구 장비 등에서 필수적인 부품입니다. 기술적으로 진공 벨로우스는 정밀하게 형성된 주름 구조를 갖추고 있어 재료 피로 없이 제어된 변위가 가능하며, 지속적인 사이클링 조건에서도 긴 수명을 보장합니다. 얇은 벽면 구조는 탈기량을 최소화하고 낮은 스프링 강성을 제공하여 민감한 응용 분야에서 특히 중요합니다. 하이드로포밍(hydroforming) 및 전해성형(electroforming)과 같은 첨단 제조 기술을 통해 진공 벨로우스의 뛰어난 치수 정확도와 표면 마무리 품질을 실현할 수 있습니다. 적용 분야는 항공우주, 과학 연구, 입자 가속기, 박막 증착 시스템 등 다양한 산업 분야에 걸쳐 진공 밸브, 로드락(load lock), 이송 챔버, 운동 피드스루(motion feedthrough) 등에 이르기까지 광범위합니다. 유연성, 진공 호환성, 기밀 밀봉 성능이라는 독특한 조합은 청결도 및 압력 무결성에 대한 엄격한 요구 사항을 충족하지 못하는 기존 밀봉 방식 대신 진공 벨로우스를 불가결한 부품으로 만듭니다.