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- 개요
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- CF/ISO 플랜지
| 재질 | 바디 | 304S.S. |
| 운송 | 304S.S. | |
| 포트 | 304S.S. | |
| 벨로우스 | 316L 또는 AM350 | |
| 사이클 수명 | 4인치 이하(포함) | 100,000 |
| 4인치 이상 | 50,000 | |
| 1기압 차압 기준 헬륨 누출율 | <5 × 가스켓 실링 기준 10-10 mbar·l/sec | |
| 베이킹 온도 | 액추에이터 | 공압식≤80℃ |
| 수동≤200℃ | ||
| 압력 범위 (mbar) | 1×10-10~1000 | |
| 최대 P (mbar) | 개방 전 27 | |
| 표준 씰 | 비톤 O-링 | |
| 액추에이터 | 공압 또는 수동 | |
| 압축 공기 공급 튜브 연결 압력 범위 | ø6 mm | |
| 4~6 Kg/cm2 (과압) | ||
| 표면 처리 | 스코치 연마 | |
| 옵션 | A. 위치 지시기 B. 공압 제어 솔레노이드 밸브 | |
| C. 대략적인 포트 D. 기타 재질 게이트 O-링 시аль | ||
