غرفة شفط خاصة بالشرائح الدقيقة
غرفة شغور أشباه الموصلات هي جهاز معقد ضروري لعمليات تصنيع أشباه الموصلات الحديثة. يحافظ هذا الإطار الهندسي العالي على بيئة نظيفة للغاية ومُحكَمة التحكم، وهي ضرورية لإنتاج مكونات عالية الجودة من أشباه الموصلات. تعمل الغرفة بإزالة الهواء والشوائب المحتملة، مما يخلق بيئة شغور عالي تصل فيها الضغوط عادةً إلى ما بين 10^-6 إلى 10^-9 تور. داخل هذا الفضاء المُحكَم، يمكن تنفيذ عمليات حرجة مختلفة مثل الترسب بالبخار الفيزيائي، الترسب بالبخار الكيميائي، والتآكل بدقة استثنائية. يتضمن تصميم الغرفة مواد متقدمة وآليات ختم متخصصة للحفاظ على سلامة الشغور، كما يحتوي على منافذ متعددة لغازات العملية، وتوصيل الطاقة، والمعدات التشخيصية. تحتوي غرف الشغور الحديثة لأشباه الموصلات على أنظمة مراقبة متطورة تتبع باستمرار مستويات الضغط، وتكوين الغاز، والحرارة، مما يضمن ظروف مثلى لمعالجة أشباه الموصلات. غالباً ما يتم دمج هذه الغرف بأنظمة تحميل أوتوماتيكية ومناولة روبوتية لتقليل مخاطر التلوث وزيادة كفاءة الإنتاج. تمكن هذه التقنية من إنشاء مكونات دقيقة من الأجهزة الدقيقة ذات الخصائص التي تقيس فقط النانومترات في الحجم، مما يجعلها أداة لا غنى عنها في إنتاج الدوائر المتكاملة المتقدمة، المعالجات الدقيقة وغيرها من أجهزة أشباه الموصلات.