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- 概要
- 関連製品
お客様のプロセス要件に完全に対応した、カスタマイズ可能な真空チャンバーを設計・製造しています。産業用および実験室用の幅広い用途に対応する柔軟な構成をご提供します。
材質：SUS304、SUS316L、またはお客様指定の材質
使用温度範囲：－190℃～＋1500℃（高温作業環境向けに水冷構造も対応可能）
シール方式：一般真空用途にはフッロカーボン「O」リング、超高真空および極端な温度環境には無酸素銅金属ガスケット
出荷前に全工程で品質確認を行い、すべての製品について工場内での必須検査を実施しています。
🔹真空漏れ率試験
🔹カスタマイズ可能な表面処理：
ヘアライン加工・鏡面研磨、サンドブラスト・電解処理、酸洗い、電解研磨、鏡面仕上げなど、用途に応じた各種処理に対応
PVDコーティング、半導体プロセス、熱処理、食品の冷凍乾燥、あるいは実験室での研究など、用途に応じて、設置スペース、インターフェース、性能要件に合わせたカスタム設計が可能です。
CFボアフランジ
| 材質: SS304/316 単位= mm | |||||||
| モデル番号 | 部品番号 | 寸法 | |||||
| A | B | C | D | P. C. D | |||
| CF16B7 | 31021100 | 6.5 | 5.5 | — | — | 26.9 | |
| CF16B12 | 31021101 | 12.9 | 10.4 | — | — | 26.9 | |
| CF16B19 | 31021102 | 19.15 | 16 | — | — | 26.9 | |
| CF35B25 | 31021103 | 69.5 | 12.7 | 6.7*6 | 25.6 | 58.7 | |
| CF35B38 | 31021104 | 69.5 | 12.7 | 6.7*6 | 38.3 | 58.7 | |
| CF35B42 | 31021105 | 69.5 | 12.7 | 6.7*6 | 42.9 | 58.7 | |
| CF63B51 | 31021107 | 113.6 | 18 | 8.4*8 | 51.1 | 92.1 | |
| CF63B63 | 31021108 | 113.6 | 18 | 8.4*8 | 63.7 | 92.1 | |
| CF100B102 | 31021110 | 151.6 | 20 | 8.4*16 | 101.8 | 130.3 | |
| CF150B153 | 31021111 | 202.5 | 22 | 8.4*20 | 153.1 | 181 | |
| CF200B204 | 31021112 | 253.2 | 24.7 | 8.4*24 | 203.7 | 231.8 | |
| CF250B255 | 31021113 | 304 | 28.5 | 8.4*32 | 255 | 284 | |
| CF275B255 | 31021114 | 336.5 | 28.5 | 10.3*30 | 255 | 306.5 | |
| CF300B305 | 31021115 | 355.6 | 28.5 | 10.3*30 | 305.4 | 325.7 | |
| CF350B356 | 31021116 | 419.1 | 28.5 | 10.3*36 | 356.1 | 388.9 | |
CFボアフランジ ノータップ – ボルト穴
| 材質: SS304/316 単位= mm | ||||||
| モデル番号 | 部品番号 | 寸法 | ||||
| A | B | C*NO | D | P. C. D | ||
| CF16B7TAP | 31021120 | 6.5 | 5.5 | M4*6 | — | 26.9 |
| CF16B12TAP | 31021121 | 12.9 | 10.4 | M4*6 | — | 26.9 |
| CF16B19TAP | 31021122 | 19.15 | 16 | M4*6 | — | 26.9 |
| CF35B25TAP | 31021123 | 69.5 | 12.7 | M6*6 | 25.6 | 58.7 |
| CF35B38TAP | 31021124 | 69.5 | 12.7 | M6*6 | 38.3 | 58.7 |
| CF35B42TAP | 31021125 | 69.5 | 12.7 | M6*6 | 42.9 | 58.7 |
| CF63B51TAP | 31021126 | 113.6 | 18 | M8*8 | 51.1 | 92.1 |
| CF63B63TAP | 31021127 | 113.6 | 18 | M8*8 | 63.7 | 92.1 |
| CF100B102TAP | 31021128 | 151.6 | 20 | M8*16 | 101.8 | 130.3 |
| CF150B153TAP | 31021129 | 202.5 | 22 | M8*20 | 153.1 | 181 |
| CF200B204TAP | 31021130 | 253.2 | 24.7 | M8*24 | 203.7 | 231.8 |
| CF250B255TAP | 31021131 | 304 | 28.5 | M8*32 | 255 | 284 |
| CF275B255TAP | 31021132 | 336.5 | 28.5 | M10*30 | 255 | 306.5 |
| CF300B305TAP | 31021133 | 355.6 | 28.5 | M10*30 | 305.4 | 325.7 |
| CF350B356TAP | 31021134 | 419.1 | 28.5 | M10*36 | 356.1 | 388.9 |
